The theory of Grothendieck topoi and etale cohomology has been introduced systematically in SGA 4, the fourth volume of SGA.
(SGA4-1) Théorie des topos et cohomologie étale des schémas. Tome 1: Théorie des topos, Séminaire de Géométrie Algébrique du Bois-Marie 1963–1964 (SGA 4). Dirigé par M. Artin, A. Grothendieck, et J. L. Verdier. Avec la collaboration de N. Bourbaki, P. Deligne et B. Saint-Donat. Lecture Notes in Mathematics 269, Springer 1972. xix+525 p (doi:10.1007/BFb0081551, pdf)
(SGA4-2) Théorie des topos et cohomologie étale des schémas. Tome 2, Séminaire de Géométrie Algébrique du Bois-Marie 1963–1964 (SGA 4). Dirigé par M. Artin, A. Grothendieck et J. L. Verdier. Avec la collaboration de N. Bourbaki, P. Deligne et B. Saint-Donat. Lecture Notes in Mathematics, Vol. 270. Springer-Verlag, Berlin-New York, 1972. iv+418 p (doi:10.1007/BFb0061319)
(SGA4-3) Théorie des topos et cohomologie étale des schémas. Tome 3, Séminaire de Géométrie Algébrique du Bois-Marie 1963–1964 (SGA 4). Dirigé par M. Artin, A. Grothendieck et J. L. Verdier. Avec la collaboration de P. Deligne et B. Saint-Donat. Lecture Notes in Mathematics 305, Springer 1973. vi+640 p (doi:10.1007/BFb0070714, pdf)
Exposés :
I. Préfaisceaux, par A. Grothendieck et J.-L. Verdier
II. Topologies et faisceaux, par J.-L. Verdier
III. Fonctorialité des catégories de faisceaux, par J.-L. Verdier
IV. Topos, par A. Grothendieck
V. Cohomologie dans les topos, par J.-L. Verdier
Vbis. Techniques de descente cohomologique, par B. Saint-Donat
VI. Conditions de finitude. Topos et sites fibrés. Applications aux questions de passage à la limite, par A. Grothendieck et J.-L. Verdier
VII. Site et topos étales dʼun schéma, par A. Grothendieck
VIII. Foncteurs fibres, supports, étude cohomologique des morphismes finis, par A. Grothendieck
IX. Faisceaux constructibles. Cohomologie dʼune courbe algébrique, par M. Artin
X. Dimension cohomologique : premiers résultats, par M. Artin
XI. Comparaison avec la cohomologie classique : cas dʼun schéma lisse, par M. Artin
XII. Théorème de changement de base pour un morphisme propre, par M. Artin
XIII. Théorème de changement de base pour un morphisme propre : fin de la démonstration, par M. Artin
XIV. Théorème de finitude pour un morphisme propre ; dimension cohomologique des schémas algébriques affines, par M. Artin
XV. Morphismes acycliques, par M. Artin
XVI. Théorème de changement de base par un morphisme lisse, et applications, par M. Artin
XVII. Cohomologie à supports propres, par P. Deligne
XVIII. La formule de dualité globale, par P. Deligne
XIX. Cohomologie des préschémas excellents dʼégales caractéristiques, par M. Artin
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